Anwendungsspezifische Produktlösungen für das Ultrahochvakuum (UHV)
Ausgelegt für Anwendungen im Ultrahochvakuum bis 10-9 mbar halten wir ein breites Produktportfolio an Strahlführungs- und Positioniersystemen bereit. Individuelle Anpassungen können wir flexibel realisieren. Angereichert mit OWIS Know-how und sichergestellt mit unseren umfangreichen Messungen und Qualitätstest:
- Nur UHV-geeignete Aluminiumlegierungen, Kunststoffe, Keramiken und Fette
- Alle Sacklöcher entlüftet
- 1,5 m Kaptonlitzen mit nickelbeschichtetem Abschirmgeflecht
- UHV-tauglicher Stecker (DSub-HD) aus PEEK - kundenspezifische Stecker auf Anfrage
- Mechanische End- bzw. Referenzschalter
- UHV-geeignete Motoren mit Spezialfettschmierung
- Gereinigt, montiert und vermessen im Reinraum
- Restgasanaylse zur Verifizierung der UHV-Tauglichkeit
- Sicher verpackt und zweifach in Folie eingeschweißt
Unsere Anforderungen an ein Massenspektrum UHV:
Die UHV‑Produkte werden in der Vakuum-Kammer bei circa 80°C ausgeheizt und nach einem Heizzyklus von maximal 12 Stunden gemessen. Dabei wird ein Massenspektrum von 0 bis 100 u bei einem Druck geringer als 10-7 mbar aufgenommen. Die Spitzenwerte im Bereich 45 bis 100 u liegen mehr als zwei Dekaden unter dem höchsten Massenpeak im Bereich 0 bis 44 u.
Anwendung in anderen Vakuum-Bereichen:
Hochvakuum (HV)
Wir bieten unser breites OWIS Produktportfolio an optischen Strahlführungssystemen und Positionierern ausgelegt für Anwendungen im Hochvakuum bis 10-6 mbar an.
Lassen Sie uns über Ihre HV-Applikation sprechen
Extrem hohes Vakuum (XHV)
Im extrem hohen Vakuum haben wir uns in den letzten Jahren eine herausragende Position erarbeitet und verfügen über entsprechendes Know-how und Infrastruktur, um Produkte für Anwendungen im XHV-Bereich bis 10-11 mbar zu realisieren.
Lassen Sie uns Ihr XHV-Produkt realisieren